Kategorija proizvoda
Kontaktirajte nas

Хаохаи Метал Метериалс Цо, Лтд

Хаохаи Титаниум Цо, Лтд


Адреса:

Биљка бр.19, ТусПарк, Центури Авенуе,

Ксианианг Цити, Схаанки Про., 712000, Кина


Тел:

+86 29 3358 2330

+86 29 3358 2349


Факс:

+86 29 3315 9049


Е-маил:

Инфо@пвдтаргет.цом

Салес@пвдтаргет.цом



Vruća linija za servis
029 3358 2330

Novosti

Dom > NovostiSadržaj

Захтјеви за кључне перформансе кључних циљева за силиконске прскање

Који су главни захтеви за перформансе циљева за силиконске прскање?

Силицијумска циљна чистоћа

Чистоћа је један од главних индикатора перформанси циљева силиконских прскања, јер чистоћа муниције има велики ефекат на особине филма. Међутим, у практичним применама, захтеви о чистоћи за циљеве силиконског затварања нису исти. На пример, са брзим развојем микроелектронске индустрије, величина вафла од 6 ", 8" до 12 ", а ширина жице од 0.5ум смањена на 0.25ум, 0.18ум или чак 0.13ум, пре 99.995% силицијумског распршивања Чистоћа мета може да задовољи захтеве 0,35умик процеса, а припрема 0,18ум линије на чистоћу циља за силирање циља захтева 99,999% или чак 99,9999%.

Силицијумски циљ прскања Садржај нечистоћа

Силовање Спуттери Нечистоће у циљаним чврстим материјама и кисеоник и влага у пореима су главни извор контаминације за одложени филм. Захтеви за различите садржаје нечистоћа циљева силика за распршивање различитих намена такође су различити. На примјер, индустрија полупроводника за цијепање чистоће алуминијума и легура алуминијума, садржај алкалија и садржај радиоактивних елемената има посебне захтјеве.

Силицијумска циљна густина

Да би се смањила порозност силицијевих циљаних честица силикона и побољшала перформансе спуттера, опћенито је пожељно да циљеви силиконске пиштоља имају већу густину. Густина муниције не само да утиче на брзину распршивања, већ и утиче на електричне и оптичке особине филма. Што је већа густина циља за силовање, боље су перформансе филма. Поред тога, повећање густине и чврстоће силицијог цилиндра прскања дозвољава силиконској мјери распршивања да боље одржи топлотни оптерећеност током спрата. Густина је такође један од кључних индикатора успјешности циљева за силирање цилиндара.

Циљ цилиндричног цилиндра јесте величина зрна и расподела зрна

Обично је муниција за полужење поликристална структура с величином зрна у распореду микрона до милиметара. За исту врсту цилиндра за силирање, стопа распршивања финог силицијог цилиндра је много бржа од циља грубог цилиндра прскања. Стопа распршивања је мала (равномерна расподела). Дистрибуција дебљине наношеног филма је више униформна.