Kategorija proizvoda
Kontaktirajte nas

Хаохаи Метал Метериалс Цо, Лтд

Хаохаи Титаниум Цо, Лтд


Адреса:

Биљка бр.19, ТусПарк, Центури Авенуе,

Ксианианг Цити, Схаанки Про., 712000, Кина


Тел:

+86 29 3358 2330

+86 29 3358 2349


Факс:

+86 29 3315 9049


Е-маил:

Инфо@пвдтаргет.цом

Салес@пвдтаргет.цом



Vruća linija za servis
029 3358 2330

Novosti

Dom > NovostiSadržaj

Како превазићи ниску стопу искоришћења циља магнетног прскања

Како превазићи ниску искоришћеност циља магнетронског спуттера

Ротирајућа мета се широко користи у соларним ћелијама, архитектонском стаклу, аутомобилском стаклу, полупроводницима, телевизорима са равним екраном и другим индустријама.

Цилиндрична ротирајућа мера има велику јачину магнетског поља, високу ефикасност искориштавања метала, високу брзину депозиције филма, муницију и јединствени филмски слој могу се одложити на плочастом подлогу велике површине на обе стране циља. Истовремено кроз механизам ротације ради побољшања коришћења циља. Циљано хлађење је довољно, циљна површина може издржати вишак напајања. Комбиновањем са технологијом двоструке циљане магнетронске спуттере средњег фреквенције може се значајно побољшати ефикасност производње, уз истовремено смањење трошкова производње.

Магнетно распршивање има многе предности, али и постојање ниске стопе депозиције и неједнаких циљних површина, слаба искоришћеност циљних дефеката. Као што је коришћење равног циљног циља углавном је само око 20% до 30%, циљ прскања који резултира његовом ефикасношћу распршивања је релативно низак. За неке драгоцене метале као што су злато, сребро, платина и неки циљеви легуре високе чистоће, као што су припрема ИТО филма, електромагнетски филм, суперпреводни филм, диелектрични филм и други слојеви племенитих метала, како превазићи магнетронско распршивање Употреба циљне масе је мала, наношење танких филмова није једнообразно, а други недостаци су веома важни.

Правокутни планарни магнетрон спуттеринг циљна циљна хетерогеност етцхинг се углавном одражава у два аспекта, с једне стране је ширина циљне ширине неуједначеног језгра, с друге стране, распршивање циља на традиционални дизајн правоугаоног равног поља прскања циљне жљебове Стаза је затворена, а аномалан етцх феномен је склона да се јавља на дијагоналној позицији циљног краја, а једење на зглобу између краја циља и правца је ненормално, а једење у средини је плитко и језгро Тешки делови Су увек дијагонални, тако да је феномен познат и као крајњи ефекат или дијагонални ефекат. Енд-етцх ефекат мете у великој мјери смањује једнакост дубине етцх канала, а цилиндрични ротирајући циљ може врло добро ријешити ове проблеме и тиме има већу стопу искоришћења.


Inače